中外合作仁荷微电子INHA气体质量流量控制器MF-200C

产品编号:28288264 发布时间:2018-02-28 16:59 发布IP:113.25.94.167 访问统计:2次
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公司主营: INHA气体质量流量控制器/气体质量流量计...
联系人: 田薇
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18234418230
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品牌: INHA
价格: 面议
起订: 1
供货总量: 1000
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
产地: 晋中流量计
发货地址: 山西省晋中市榆次区迎宾西街和田商务11层
 
 
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中外合作厂家直销 交货周期短 优质的国产质量流量控制器,性能比肩进口

产品为定制产品(可特殊定制)价格需电议

山西仁荷微电子科技有限公司主要生产INHA气体质量流量控制器,气体流量计。 本公司生产的气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域。如:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

主要技术指标:

编号 项目 MF-200C MF-200M

1 流量规格(N2) 10sccm~30slpm 

2 准确度 ±1%F.S(Full Scale)

3 重复精度 ±0.25%F.S(Full Scale)

4 响应时间 ≤2sec(特别要求时:≤1sec)

5 耐压 ≤90bar

6 工作环境温度 0℃~50℃

7 输入输出信号 0~5V 0~5V or 4~20mA

8 供电 +15Vdc or +24Vdc   350mA

9 漏率 1×10atm.cc/sec

10 使用范围 2~100%满量程

联系方式: 0354-3998189 田经理:18234418230 技术经理:18813048555  email:1939255606@qq.com    :http://www.inha.tech/  微信关注:INHA

   本公司自主开发研制的产品具有抗干扰能力强,测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低,压力损失小等优点,且易清洗、具备自排空功能;其基本技术指标已达到国际先进水平,可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 每台传感器都由不锈钢材料制造,变送器的多种输出能满足您的各种需求。

 MF系列MF-200C MF-200M特点

有很宽的工作压力范围,产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质(包括一些腐蚀性气体);有很宽的流量范围,产品小流量范围可达0~10sccm,大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为50:1)。

——耐高压(大工作压力可达100bar)

——响应时间快≤1sec

——准确率高

——稳定的流量控制

——压力范围广

——尺寸小

——连接方便,快拆快拧

——交货周期短

——优惠的价格极具性价比

——模拟输入输出接口(0-5Vdc或4-20mA可选)

——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容

工作原理

•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量(无需温度压力补偿)。

•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

•分流器决定主通道的流量。

•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源,3位半数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。

•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S(程比为50:1)

如图: 
 工作原理

 结构

气体质量流量计由流量传感器(Sensor),分流器通道和流量放大电路等部件组成;在气体质量流量计的基础上,再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。

用途和特点:

  气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括:电子工艺设备,如:氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。

MF-200c
技术问答

 什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?

质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。

质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

 什么情况下用质量流量计, 什么情况下用质量流量控制器 ? 

一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。

 
质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么? 

(1)  流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。

(2)  测量控制的自动化

质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

(3)  地定量控制流量

质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用 


 选择产品和订货时应当注意什么?

这一点关系到用户的切身利益,涉及的问题也比较多,因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。

(1) 注意选择正确的品牌

一般应当全面衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。

(2) 注意选择正确的量程

A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。

B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表,将您所用气体的质量流量值换算成与氮气(标定气体)等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定,请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题,以下还有进一步解答。 

C. 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程,您实际使用的流量大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,如果实际流量较小而量程值选取过大,则测量值的相对误差较大。 

(3) 注意选择正确的工作压力指标

同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。

质量流量控制器(MFC)除大工作压力之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。

(4) 注意选择合适的精度指标

准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求高,应考虑自己的实际需要。

如果对厂家给出的指标不放心,有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。

(5) 注意选择合适的响应时间指标

有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。

(6) 注意对安装位置有无要求

有的厂家的产品要求必须水平位置安装。

(7) 注意使用气体和适用范围

MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(特别是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。

(8) 注意接头形式

通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于高端应用。

(9) 订货应注明:

产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(特别是腐蚀性气体)、接头形式和数量


 


 


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