气体质量流量控制器

产品编号:28323888 发布时间:2018-04-17 15:43 发布IP:111.225.241.174 访问统计:1次
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品牌: 超品
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产地: 保定流量计
 
 
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气体质量流量控制器的详细介绍 相关文档: PDF DOC TXT
 规格参数
型号 SQC-100
流量量程(N2) 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
精度 ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM)
控制阀动作型式 常闭式
线性 ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM)
重复精度 ±0.2%F.S.
响应时间 ≤1sec
输入输出信号 0~5V
电气接头 DB15 pin(针形)
工作环境温度 5~45℃
工作压差 0.05~0.5MPa(MFC);0.03~3.0MPa(MFM)
漏率 1*10-8SCCS(He)
大耐压 3MPa
介质接触材质 316不锈钢和密封材料
密封材料 橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯,金属密封
接头尺寸 VCR 1/4";Swagelok 1/8";1/4";φ3,φ6mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA

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